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DISCO DFG860晶圓超薄研磨設(shè)備，3盤可旋轉(zhuǎn)設(shè)計(jì)，精度高，穩(wěn)定性好，效率高。適用于12寸晶圓背部研磨減薄。
生產(chǎn)日期：2004年
額定功率：AC200V，50/60HZ，21KWV
壓縮空氣：0.5Mpa 350L/mi
研削水： 0.2Mpa 25L/min
l冷卻水： 0.2Mpa 9L/min
重量： 5000KG
設(shè)備名稱:
研磨機(jī) 減薄機(jī)
廠家:
DISCO
型號:
DFG860
年份:
2004
設(shè)備狀態(tài):
Working
