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設(shè)備名稱(chēng): |
eFlow Series |
廠家: |
DIC GROUP |
型號(hào): |
C Series |
年份: |
now |
設(shè)備狀態(tài): |
new |
eFLOW Series是通過(guò)使用DIC自主開(kāi)發(fā)的「中空纖維透氣膜」補(bǔ)充二氧化碳的方法控制超純水電阻率值的裝置??傻玫椒乐挂蜢o電引起的「灰塵再次附著」和基板圖形的防「靜電破壞」的效果。
特征
n由于結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,故障少
n采用獨(dú)特的配管分配方式,易于控制電阻率值且穩(wěn)定性優(yōu)良
n二氧化碳供氣模組的壽命長(zhǎng)(保證期限為5年,本公司制)
主要用途
n掩模、網(wǎng)袋的清洗 n洗滌器清洗 n高壓噴射清洗 n切割工序的清洗 n槽清洗
產(chǎn)品陣容
Cabinet Type(C Series)
C Series附帶可裝入2個(gè)CO2氣瓶的機(jī)柜。電阻率傳感器內(nèi)置于機(jī)柜內(nèi),可通過(guò)eFLOW直接把水管連接使用場(chǎng)所。
型號(hào)一覽表
處理流量(L/min) | 型號(hào) | 模組 |
---|---|---|
1-16 | 1AC-P101 | PF-001L-NA 1個(gè) 1module |
5-30 | 2AC-P101 | PF-001L-ND2 2個(gè) 2modules |
10-50 | 3AC-P101 | PF-001L-ND3 2個(gè) 2modules |