DGP8761
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提高加工穩(wěn)定性，實(shí)現(xiàn)更高產(chǎn)能效率
DGP8761是全球銷(xiāo)售業(yè)績(jī)突出的DGP8760的改良機(jī)型。本機(jī)型實(shí)現(xiàn)了背面研磨到去除殘余應(yīng)力技術(shù)的一體化，可以穩(wěn)定地實(shí)現(xiàn)厚度在25μm以下的薄型化加工。還配置了新開(kāi)發(fā)的主軸，適用于高速研削加工。有助于縮短薄型晶圓的加工時(shí)間（與DGP8760相比較）。另外，合理配置搬運(yùn)機(jī)構(gòu)的布局，縮短了加工以外的生產(chǎn)時(shí)間。
第三主軸的多樣應(yīng)用
用于薄晶圓加工的第3個(gè)主軸用途包括以下內(nèi)容。
去除殘余應(yīng)力
●環(huán)保，不使用藥液、水的「干式拋光加工」
●CMP（特殊選項(xiàng)）
超精密研磨加工（特殊選項(xiàng)）
●Poligrind
●UltraPoligrind
